ເຄື່ອງກວດສອບຄວາມຮູ້ສຶກສູງໃຫມ່

ໃຫມ່photodetector ຄວາມອ່ອນໂຍນສູງ

ເມື່ອມໍ່ໆມານີ້, ທີມງານຄົ້ນຄ້ວາຢູ່ສະຖາບັນວິທະຍາສາດຂອງຈີນ (PGR-GAOX) ສະເຫນີເປັນຄັ້ງທໍາອິດສໍາລັບຄວາມອ່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງແລະສູງPhotodeyectorໂດຍຜ່ານການໂຕ້ຕອບ pyroelectric ແລະຜົນກະທົບທີ່ມີສ່ວນຮ່ວມແລະການຄົ້ນຄ້ວາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງໄດ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໃນເອກະສານທີ່ກ້າວຫນ້າ. ພະທັນເຄື່ອງກວດຈັບຮູບຖ່າຍ(ສໍາລັບ ultraviolet ເລິກ (DUV) ກັບວົງດົນຕີ X-ray) ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໃນຫຼາຍໆຂົງເຂດ, ໃນນັ້ນລວມທັງວິທະຍາສາດຄວາມປອດໄພ, ແລະວິທະຍາສາດອຸດສາຫະກໍາ.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເອກະສານ semiconductor ປັດຈຸບັນເຊັ່ນ: si ແລະ se ມີບັນຫາຂອງຕົວຄູນການດູດນໍ້າຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການພົບຄວາມຕ້ອງການຂອງການຊອກຄົ້ນຫາທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ. ໃນອຸປະກອນການຊອກຫາການຊອກຄົ້ນຫາທີ່ມີຄວາມສຸກທີ່ສຸດສໍາລັບການກວດພົບທີ່ມີຄວາມແຮງສູງ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເນື່ອງຈາກດັກໃນລະດັບຄວາມເລິກທີ່ສຸດແລະການຂາດການອອກແບບທີ່ມີປະສິດຕິຜົນໃນໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນ, ຄວາມໄວສູງຂອງຜູ້ກວດສອບຄວາມໄວສູງຂອງຜູ້ກວດສອບຄວາມໄວສູງໂດຍອີງໃສ່ semiconductors ກ້ວາງ. ເພື່ອແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍເຫຼົ່ານີ້, ທີມງານຄົ້ນຄ້ວາໃນປະເທດຈີນໄດ້ອອກແບບ Diode (PPD) ໂດຍອີງໃສ່ PGR-GAOX ເປັນຄັ້ງທໍາອິດ. ໂດຍການສົມທົບກັບຜົນກະທົບ pyroelectric ທີ່ໂຕ້ຕອບກັບຜົນກະທົບຂອງຮູບຖ່າຍ, ການປະຕິບັດການຊອກຄົ້ນຫາແມ່ນໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີຂື້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. PPD ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມອ່ອນໄຫວສູງສຸດທັງ DUV ແລະ X-RAY, ໂດຍມີອັດຕາການຕອບຮັບສູງເຖິງ104μc× 2, ຕາມລໍາດັບ, ສູງກວ່າເຄື່ອງກວດທີ່ຜ່ານມາທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ຄ້າຍຄືກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຜົນກະທົບ pyroelectric ທີ່ເກີດຈາກ Polar symmetry ຂອງ PGR-GAOX Depletion Reparttion ສາມາດເພີ່ມຄວາມໄວໃນການຕອບຮັບຂອງເຄື່ອງກວດຈັບໄດ້ 105 ເທົ່າເຖິງ 0.1ms. ເມື່ອທຽບໃສ່ກັບຮູບຖ່າຍຮູບແບບທໍາມະດາ, PPD ຮູບແບບຕົນເອງຜະລິດໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດສູງຂື້ນຍ້ອນການປ່ຽນ pyroelectric ໃນລະຫວ່າງການປ່ຽນແສງສະຫວ່າງ.

ນອກຈາກນັ້ນ, PPD ສາມາດປະຕິບັດງານໃນໂຫມດ Bias, ບ່ອນທີ່ໄດ້ຮັບສູງຂື້ນໃນແຮງດັນຄວາມສະຫວ່າງສູງ, ແລະໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດສູງໂດຍການເພີ່ມແຮງດັນສະຕີ. PPD ມີທ່າແຮງໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ດີໃນການບໍລິໂພກພະລັງງານຕ່ໍາແລະລະບົບການປັບປຸງຮູບແບບທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງ. ວຽກນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ພິສູດໃຫ້ GAOX ແມ່ນດີphotodetector ພະລັງງານສູງອຸປະກອນການ, ແຕ່ຍັງສະຫນອງຍຸດທະສາດໃຫມ່ສໍາລັບການປະຕິບັດການຖ່າຍຮູບພະລັງງານທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ.